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半导体巨头气体事故,无独有偶!台积氧气,三星氮气

2021-08-06 10:55:56 浏览次数:

对于半导体工厂而言,由于设备重启会造成损失巨大,因此通常是全年不间断运营。7月27日,半导体巨头三星P2工厂因为氮气原因暂时停工。无独有偶,7月29日晚间台积电南科厂又因氧气污染停摆。气体啊,气体,看不见,摸不着,往往被忽视!

台积电氧气事故

台湾《经济日报》7月30日消息,台积电负责先进制程的南科厂,昨日晚间传出部分产线停摆,今日上午供应商全数被挡在厂区外,有消息传出今日12时该厂将举行生产会议。台积电回应“南科厂停产”传闻,表示绝无此事,只是有部分来自厂商供应的气体疑似受到污染,已即时调度其他气体供应。

半导体厂商表示,半导体制程高达700多道,约有270道需要使用氧气,涵盖蚀刻、物理及化学研磨,几乎都是核心制程,且台积电18a又是目前台积电最缺的5nm核心制程,目前生产项目是苹果下一代5G手机要用的核心处理器和AMD新一代处理器,这个时候发生了氧气污染事故,肯定对台积电会产生一定影响。预计台积电也会全力排除相关问题,让产线尽快恢复。

三星电子氮气事故

据韩媒报道,三星平泽P2工厂7月27日晚间6点左右因供气问题出现运营中止。此次停工,据悉是因为氮气(N2)供应中断造成,随后工程师们立即赶往恢复,工厂也在一段时间后恢复了运营。业内人士称,此次停工没有造成巨大损失,因为产线可以立即恢复正常运行。三星电子回应道,工厂的运营确实有一段时间被暂停检查。

三星平泽P2工厂投资30万亿韩元,于2018年开始建设,占地面积为128900平方米,约16个足球场大小,是集成晶圆代工、DRAM和NAND Flash产线的综合性工厂。平泽P2工厂是三星迄今为止规模最大的半导体生产线,已经导入EUV工艺量产DRAM,同时也将在今年下半年量产176L V7。

此前有媒体报道,为了应对全球DRAM资源供不应求的市况,三星有意扩大DRAM产量,其位于韩国平泽P2工厂第一季度的12英寸晶圆月投片量从3万片扩大至4万片。至于晶圆代工产线,消息称主要生产5nm制程工艺产品。产能方面,预计每月约为4万片。而NAND Flash产线,产能方面,生产线的初始产能估计约为每月2万片。
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